碳化硅微粉機械

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研究了金剛石微粉對碳化硅晶片表面機械拋光質(zhì)量及去除率的影響。選取粒徑均為W0.5~1μm、粒徑分布和形貌不同的3種金剛石微粉,配置3種SiC單晶片機械拋光液。。

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